离子氮化炉排除空气
大部分零件，可以使用气体去油法去油后立刻渗氮，部分零件也需要用汽油清洗比较好，但在渗氮前之最后加工方法若采用抛光、研磨、磨光等，即可能产生阻碍渗氮的表面层，致使渗氮后，氮化层不均匀或发生弯曲等缺陷，此时宜采用下列二种方法之一去除表面层。第一种方法在渗氮前首先以气体去油，然后使用氧化铝粉将表面作喷砂处理（abrasive cleaning）；第二种方法即将表面加以磷酸皮膜处理（phosphate coating）。
离子氮化炉的排除空气
将被处理零件置于渗氮炉中，并将炉盖密封后即可加热，但加热至150℃以前须作炉内排除空气工作，排除炉内的主要功用是防止氨气分解时与空气接触而发生爆炸性气体，及防止被处理物及支架的表面氧化，其所使用的气体即有氨气及氮气二种。
排除炉内空气的要领如下：
①被处理零件装妥后将炉盖封好，开始通无水氨气，其流量尽量可能多，炉中之空气排除至10%以下，或排出之气体含90%以上之NH3时，再将炉温升高至渗氮温度。
②将加热炉之自动温度控制设定在150℃并开始加热（注意炉温不能高于150℃）。