第一步：首先将离子氮化炉体与供气系统分离，目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的。将进气管与钟罩分离，然后将进气接头处封死启动真空泵抽真空,抽到较高真空度(如30Pa左右或更高)后，关闭蝶阀，停顿一段时间(15-30分钟)后，观察设备的漏气情况。
第二步：在完成第一步工作后，若离子氮化炉体漏气，则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位(包括观察窗、充气装置、钟罩下部密封法兰面、底盘上的大密封圈、测压部分密封处、阴极部位密封处、蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等)，直至离子氮化炉体基本不漏气为止，注意在实施以下检查步骤时，要遵循"分 段"检查法的原则，即一个步骤一个步骤进行，每完成一个检查步骤后，抽真空观察检查效果。如果漏气问题得以解决，则不再进行其它检查，否则，再依次做检查。
第三步：在完成第一步的工作后，若离子氮化炉体不漏气，说明炉体各个密封部位完好，接着再慢慢地打开蝶阀。
第四步：在完成前三步工作，已解决离子氮化炉体漏气问题或确认漏气不是由炉体引起后，重新将第一步中与离子氮化炉体脱离的进气管连接到炉体钟罩上(并保证 接头处密封完好)。先关死各流量计，再启动真空泵对炉体抽真空，此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况，若发现设备又存在漏气，可检查进气接头部分，气管，各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况，直至漏气问题排除。