辉光离子氮化是1970年代出现的一种新的氮化方法。 与一般的气体氮化相比，辉光离子氮化的特点是：
辉光离子氮化速度更快，可以适当地缩短氮化时间。 离子氮化时间短，可以缩短为气体氮化时间的1/3至2/3。 氮化层的脆性较小，在离子氮化表面上形成的白色层非常薄甚至不薄，由其引起的变形也很小，特别适用于形状复杂的精密零件。

辉光离子氮化可以节省能源和氨气消耗。 电力消耗是气体氮化的1/2至1/5，氨消耗是气体氮化的1/5至1/20。
易于实现部分氮化，只要您尝试防止不被渗氮的部分而不会产生辉光，非氮化部分就易于保护，并且可以通过机械屏蔽和阻挡辉光离子氮化来进行保护 与铁板。

离子轰击可以净化表面并自动去除钝化膜。 离子氮化炉厂家不锈钢和耐热钢材料不需要事先去除钝化膜，不锈钢和耐热钢工件可以直接氮化。
辉光离子氮化可以控制复合层的结构，渗透层的厚度和组织。

辉光离子氮化工作条件得到了改善。 无污染的离子氮化处理是在非常低的压力下进行的，并且废气非常小。 气源是氮气，氢气和氨气，基本上不会产生有害物质。
辉光离子氮化可以应用于多种材料，包括要求高氮化温度的不锈钢和耐热钢，以及工具和模具（工具钢）以及具有较低氮化温度的精密零件。 低温氮化很难进行气体氮化。
在当代的离子渗硫、离子硫氮碳共渗技术中，单一热源的离子渗氮是一种过时的产品，不能再满足产品对炉温均匀性和稳定性的要求。