离子氮化炉属于低真空设备的范畴，设备使用一段时间后，离子氮化炉加工过程中会出现漏气现象。在轻微漏气的情况下不会对工件的渗氮质量产生很大影响，但如果设备漏气严重，漏气会影响工件的渗氮质量，必须检修。今天，我们来介绍离子氮化炉加工过程中漏气的检测方法：

离子氮化炉加工过程的泄漏检测相对困难，通常采用“分段”检查的方法，即分段检查。

一、将炉体与供气系统分离的目的是区分泄漏是由炉体还是供气系统引起的。

将进气管与钟形罩分离，然后密封进气接头（您可以使用我提供的专用塞子或真空密封泥）。启动真空泵抽真空，抽至较高真空度（如30Pa或更高）后关闭蝶阀，暂停一段时间（15-30）分钟后观察设备漏气情况。

二、在完成上一步后，如果离子氮化炉加工时炉体泄漏，逐个检查可能泄漏的密封件，直至炉膛阀体基本没有 泄漏。

1、检查观察到的玻璃，查看镱是否破裂。如果它坏了，应该更换。

2、检查固定观察窗玻璃镜的内六角螺钉是否松动。如果松动，则应牢固，但必须对称均匀地拧紧，力不应过大，以免压碎玻璃。

3、检查观察窗内外密封圈（白色）是否老化。如果它们正在老化，请更换新的。

4、拆除炉体底座上的自动充气装置，用沾有汽油的干净布清除密封橡胶和充气密封面上的灰烬，并按原样重新安装。

5、检查炉膛底盘上压力测量部分的密封情况，如果紧固螺母松动，则拧紧，如果密封圈损坏，则更换。

6、检查阴极密封情况，紧固螺母松动，紧固螺母拧紧，密封圈损坏，更换。

7、检查炉体钟形罩底部的密封法兰面。如有锈蚀、凹坑等损坏，应及时处理。

8、检查炉膛底盘上的大密封圈，如有损坏应及时修理或更换。

9、检查抽气硬弯头各连接法兰面的紧固情况。如果松动，请均匀拧紧。如果密封圈损坏，应及时更换。

10、检查蝶阀密封圈上是否有灰。如果有灰，蝶阀管道可能不会死亡和泄漏。如果发现这种情况，应及时用沾有汽油的干净布擦拭干净，然后涂上真空润滑脂。

三、 完成一步工作后，如果炉体没有泄漏，则表明炉体的所有密封件都处于良好状态。缓慢打开接头处的蝶阀。此时，可能出现以下两种情况。

1、蝶阀开启时真空度略有下降，但此后不再继续下降（即压力上升率在设备规定范围内或压力上升率在工艺允许范围内），这表明不锈钢抽气软管，电磁阀及其连接件状况良好。

2、如果蝶阀打开后真空度继续下降，说明电磁真空配有充气阀，吸入不锈钢波纹软管或软管两端的连接密封件可能泄漏。