辉光离子氮化的工作过程及原理

工作过程：

辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法，采用专用的辉光离子氮化炉以工件为阴极，炉体为阳极。当炉内的真空度抽至（1~0.1Pa）后再通入氨气，使真空室内压力约66.65~1333.2Pa，在两极之间加电压为400~750V，电流密度为0.5~2.0mA/cm²的直流电。在高压电场的作用下，产生辉光放电，氮气发生部分分解形成氮和氢的正离子以及电子。具有高能量的氮离子轰击工件表面，由动能转化为热能和加热工件，与此同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散，离子轰击工件表面还产生阴极溅射，溅射出的铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN,FeN重新附着在工件表面，然后分解成为Fe2N和Fe3N,并放出氮原子向工件内扩散.

原理：

辉光离子氮化是利用辉光放电原理进行的，辉光放电是当气体越过电晕放电区之后，若减小外电路电阻，或提高全电路电压，继续增加放电功率，放电电流将不断上升，同时辉光逐渐扩展到两电极之间的整个放电空间，发光也越来越明亮，当电子能提高，则能使电晕放电过渡到辉光放电。