离子渗氮作为强化金属表面的一种利用辉光放电现象，将含氮气体电离后产生的氮离子轰击零件表面加热并进行氮化获得表面渗氮层的离子化学热处理工艺。零件经过离子渗氮处理后，可显著提高材料表面的硬度，使其具有高的耐磨性、疲劳强度、抗烧伤性以及抗腐蚀能力。

离子氮化早在1931年就已经在实验室里取得成功并且获得专利，其所运用的辉光放电是气体放电的一种重要形式。低气压辉光放电的击穿机制是从阴极发射电子，在放电空间形成相应离子，由此产生的正离子再轰击阴极使其发射出更多的电子，按其状态，辉光放电可分为前期辉光、正常辉光和异常辉光三个不同的阶段。
大电流的稳定辉光放电设备制造技术在当时有着较大的困难，一直延迟到20世纪60年代初人们在掌握辉光放电技术后，离子氮化才在少数国家生产中得到应用，目前世界各国包括我国在内，离子氮化生产已经获得迅速的发展。

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