离子渗氮是在低真空的含氮气氛中，一炉体为阳极，被处理工件为阴极。在阴阳极之间加上数百伏的直流电压，使之产生的辉光放电进行渗氮处理的化学热处理工艺。

离子渗氮是在低真空含氮气氛中利用模具和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺，与气体渗氮相比有以下几个优点：

1.工作环境好：由于离子氮化法不是依靠化学反应，而是利用离子化了的含氮气体进行氮化处理。所以工作环境十分清洁无需防止公害的特别设备，所以离子氮化法也被称作“绿色”氮化法。

2.能源消耗少：由于离子氮化法利用辉光放电直接对工件进行加热，也无需特别的加热和保温设备，并且可以获得均匀的温度分布，与间接加热方式棚比，加热效率可以提高两倍以上。达到节能效果，可以大大的降低处理成本。

3.渗入速度快：由于离子氮化法利用了已经离子化了的气体的溅射作用，因而可以显著地缩短处理时间，离子渗氮的时间仅仅为普通气体渗氮的时间的三分之一到五分之一。

4.适应范围广泛：可用于不锈钢模具的渗氮。利用离子的轰击作用可以内动去除不锈钢、耐热钢模具表面的钢化膜，可以直接进行不锈钢模具的渗氮。

5.渗氮组织易于控制：通过调节氮、氧以及其它气氛的比例，可以自由的调节化合物层的组成，从而获得预期的机械性能。