软氮化学名“氮碳共渗”。实质是以渗氮为主的低温氮碳共渗，钢的氮原子渗入的同时，还有少量的碳原子渗入，其处理结果与一般气体氮化相比，渗层硬度较氮化低，脆性较小，故称为软氮化。
作为一种工件表面热处理工艺手法，能提高工件的耐磨、耐疲劳、耐蚀及耐高温的特性，在生产中得到广泛应用，但是由于工艺不正确或操作不当，往往造成出现渗氮硬度低、硬度不均匀，表面有氧化色等缺陷，影响了工件的使用周期，因此分析原因、探讨方法、调整工艺，显得十分重要。
渗氮层硬度偏低原因：
渗氮层硬度偏低会降低工件的耐磨性能，减少工件的使用周期，分析原因我们会发现：
(1)渗氮模具表层含氮量低，这是由于渗氮时炉温偏高或者在渗氮第一阶段的氨分解率过高，即炉内氮气氛过低。
(2)模具预先热处理后基体硬度太低。
(3)渗氮炉密封不良、漏气或新的渗氮罐。
预防措施：
1)适当降低渗氮温度。对控温仪表要经常校正，保持适当的渗氮温度。
2)工件装炉后应缓慢加热，在渗氮第一阶段应适当降低氨分解率，运用武汉华敏的渗氮气氛全因素监测系统，准确还原原始气氛中的氨裂解率、氢含量和氮势。
3)渗氮炉要密封，对漏气的马弗罐应及时更换，新渗氮罐要进行预渗氮，通过系统全程监测，使炉内氨分解率达到平稳。