辉光离子氮化炉处理是指化学热处理过程，其中氮原子在特定温度下在特定介质中渗入工件的上层。 辉光离子氮化炉具有出色的耐磨性，抗疲劳性，耐腐蚀性和耐高温性。
将氨气通入辉光离子氮化炉的不锈钢真空密封罐中，加热至520℃，并保持适当的时间。
根据工件材料和层的要求，可以得到含氮强化层，以使渗氮后的工件外观高硬度，高耐磨性，高疲劳极限和良好的耐磨性。

辉光离子氮化炉操作方法：
氮化前的模具必须是经过正火或调质的工件。
首先，使用汽油和酒精擦洗工件的外观，并且不应有锈斑，油渍和污垢。
装入炉子后，对称地拧紧炉子盖的固定螺栓。
将冷却水倒入辉光离子氮化炉的进水口和炉盖，以进行循环水冷却。 炉盖上管子的冷却水端是进水口，上端是出水口。 单独的熔炉罐入水并单独排干。 炉盖中的所有水管都可以根据低进水口优先控制标准串联连接，离子氮化一个进水口和一个排水口。
加热前应将氮气排入废气，流量应大于使用量的两倍。

离子氮化加工排气10分钟后，将温度控制仪设置为150°C，打开自动加热开关，排气时加热至150°C，并保持排气2小时，然后将温度控制仪设置为530°C至 调节氨流量降低压力以保持炉内的正压，并且排气口的压力相对较小。 当炉温升至530℃时，恒温恒流渗氮3-20h，然后稍微调节氨压力，离子氮化加工使排气保持适度压力，渗氮4-70h，然后降低氨压，反硝化 1-2小时后，切断电源，停止加热，放少量氨以保持炉内正压，等到炉温降至150℃以下才可以停止给氨，还有离子渗金属。