等离子氮化工艺参数很多。 除了常见的氮化温度和时间外，它们还受诸如炉中气体压力，气体源，气体压力和流量，电压和电流以及抽速等因素的影响。
等离子氮化温度和时间：等离子氮化和气体渗氮的渗氮温度基本相同，当温度高于590℃时，由于氮化物的积累，硬度显着降低。

等离子氮化的加热速率主要取决于工件表面的电流密度，工件体积与发光表面积的比值，工件的复杂程度以及散热条件。 为了减少变形，加热速率不应太快。与钢铁渗硫、离子渗金属的加热速率不同。

等离子氮化的绝缘温度稳定，波动小。 保温温度的稳定性与炉内压力和电压密切相关。 通过使炉压稳定，可以使电流密度稳定，并且可以提高绝缘温度的稳定性。 通过稳定电压来稳定电流密度，从而提高绝缘温度的稳定性。

等离子氮化的停留时间取决于氮化部分的材料以及氮化层的厚度和硬度。 停留时间从数十分钟到数十小时不等。 当等离子氮化时间小于20h时，离子氮化速率显着高于气体氮化速率。钢铁渗氮的时间更是要注意。
等离子氮化的炉气压力与进气流量和抽气速度有关。 在某些压力条件下，真空泵的抽气速率越高，气流越大，氨气消耗也越大。 在离子氮化过程中，气压直接影响电流密度。
等离子氮化的压力大，电流密度大，并且电流密度影响温升率和绝缘温度。
气压还决定了发光层的厚度。 空气压力越大，dk越小，辉光层越薄，这更有利于加热。