等离子氮化工艺除了常用的渗氮温度和时间外，还有许多参数，还受炉内气压，气源，气压和流量，电压和电流以及抽速等因素的影响。

离子氮化温度和时间：
离子渗氮和气体渗氮的渗氮温度基本相同，一般在500〜540℃之间，不同材料的渗氮硬度和温度之间有一个对应值，一般在450〜540℃之间。 当温度高于590℃时，由于氮化物的积累，硬度显着降低。
等离子氮化加热速率主要取决于工件表面的电流密度，工件体积与发光表面积的比值，工件的复杂程度以及散热条件。 为了减少变形，升温速度不要太快，一般在150〜250℃/ h。

绝缘温度稳定，波动小。 保温温度的稳定性与炉内压力和电压密切相关。 通过使炉压稳定，可以使电流密度稳定，并且可以提高绝缘温度的稳定性。 通过稳定电压来稳定电流密度，从而提高绝缘温度的稳定性。
等离子氮化停留时间取决于氮化部分的材料以及氮化层的厚度和硬度。 停留时间从数十分钟到数十小时不等。 当氮化时间小于20h时，等离子氮化速率显着高于气体氮化速率。

当渗氮时间超过20h时，两个渗氮速度接近。 可以看出，当氮化层小于0.5mm时，离子氮化是合适的。 当渗氮层的深度为0.2〜0.5mm时，一般8〜20h就足够了。
炉气压力是离子氮化的重要参数。 空炉或工件装入炉后，气压应低于6.67pa。 如果未达到该值，则说明炉体正在泄漏。 泄漏的空气中的氧气会氧化金属表面并影响氮化质量。 冷却过程中漏气会导致工件氧化和变色。
炉气压力与进气流量和排气速度有关。 在某些压力条件下，真空泵的抽气速率越高，气流越大，氨气消耗也越大。 在离子氮化过程中，气压直接影响电流密度。在钢铁渗氮时也要注意。